深入探討氮化矽，即SiNx或Si3N4，這種在柔性電子領域至關重要的材料，在多層結構中的機械可靠性。 隨著柔性電子產品，如可折疊顯示器、穿戴式感測器，以及醫療應用感測器等技術的迅速發展，其對輕薄、可彎曲、甚至可捲動設備的需求日益增長。 在這些創新應用中，多層薄膜結構扮演著核心角色，而氮化矽因其優異的性能，常被選作關鍵材料，特別是用作滲透阻擋層或電路層。 然而，這類脆性薄膜在重複彎曲和製造過程中，其機械完整性面臨巨大挑戰，而這直接關係到柔性設備的最終壽命和功能性。 接下來，我們將借鑒三份重要文獻的研究成果，全面解析氮化矽在柔性多層結構中的應力-應變行為、失效機制以及提升其可靠性的方法。 -- Hosting provided by SoundOn